Milyen rendkívül magas tisztasági követelmények szabályozzák a gázcsöveket?
Semi F72 Surface Finish . outgassing szabványok<5×10⁻¹⁰ torr·L/sec/cm². Particle counts <0.1 particles/cm³ (>0 . 1μm). Nedvességtartalom<10 ppb. Metallic impurities <1 ppb.
Hogyan készítik el a gázeloszlás hegesztéseit?
Orbitális hegesztés ultra-magas tisztasággal argon . dupla áteresztési hegesztés a kritikus vonalakhoz . elektropolizálás 0 . 25 μm RA . passziváció nitrikus savval . végső ölelés 18,2 MΩ · cm vízzel.
Mi a tesztelés validálja a gázcső integritását?
Héliumszivárgás-tesztelés 1 × 10⁻⁹ ATM-CC/SEC . maradék gáz-elemzés szennyeződéshez . A tisztítógáz részecskeszámolása . Nedvesség-elemzés lézer-spektroszkópia segítségével . Végleges tanúsítás tényleges folyamatgázzal .}}}}}}}}}}}}}}}}}
Hogyan kapcsolódnak az elosztó rendszerekhez a gázszekrények?
VCR arc-pecsételés szivárgás-szoros ízületekhez . Tisztítással borított másodlagos tartály . Duplafalú csövek veszélyes gázokhoz . STATIC vezérléshez . Korlátozott áramlási nyílások biztonságához .}}}}}}}}}}}}
Mi a karbantartás megakadályozza a gázrendszer szennyeződését?
Az összes csatlakozás éves szivárgásvizsgálata . részecskefigyelés gázváltozások során . Rendszeres tisztítás gázminőség -ellenőrzés . Szelepcsomagolás karbantartása . Szigorú változásvezérlő eljárások .
